繁地被问题

 

 

 

 

q 一般问题

 

 

 

么防止多数用户自动化他们的质谱仪?

 

 

为什么我应该从质谱仪硬件供应商分离自动化?

 

 

 

为什么是消化数据入优值必要的?

 

 

 

我可以质谱仪数据连接全部、产品和食谱证明?

 

 

 

们的产品(In Situ Host)么集成工厂自动化系统?

 

 

 

家庭

 

 

 

 

 

q 有特殊用途的问题

 

 

 

我可以使用我的开放来源质谱仪在我的调动房间?

 

 

 

为什么是同步我去除毒气房间质谱仪到过程重要的?

 

 

 

当考虑质谱仪自动化时,什么析因应该考虑?

 

 

 

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一般问题

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

么防止多数用户自动化他们的质谱仪?  有主流质谱仪硬件供应商提供的2种方法:

 

1.  泄漏测试软件:  这个答复瞄准标准级软件,例如“TWARE32”“RGA for Windows” [1] 不是自动化软件喜欢Fabguard  软件的这个水平质谱仪文件可以与过程的开始同步,并且时间可以在固定的时光以前抵销。

  1. 工程学,接口,缚住和组分 必要获取同步信号将是顾客的 责任。
  2. 分成数据不会是可能的。  例子,如果你想监测数据在某些情况之下, 象,阀门是开放的,或者,当去除毒气灯强度在a 围,这不会是可能的。
  3. 如果质谱仪文件同步到开始 过程,在过程开始时候,它将开始新的数据文件。  这导致数以万计文件每个星期,没有实用方法为 顾可利用。  (这是提示Data Miner的情 节目。  这个节目打开每一奔跑并且提取概略数据, 这是笨重的并且不是一种理想的解答)  在原处主人 过收集概略信息先占有这需要在结论 其中每一跑。

 

2.  动化软件:  这个答复瞄准更加老练的自动化软件,例如Fabguard [2]

  1. 这些系统的能力可以是印象深刻的。  然而,价格经常是非常高,在购买价和 继续的维护。
  2. 设计质谱仪解答,一个主要因素 几乎总是薄酥饼。  关于的综合信息 薄酥饼历史将是必要为了修造一台质谱仪 模型。  软件复杂几乎总是导致重 对供营商的依赖性,它导致妥协之间 识产权保护和程序控制的表现。  末端 结果是一个系统以很少发挥的美妙的潜力。

 

们的产品(In Situ Host)选择。  它运用标准质谱仪硬件(与多数质谱仪制造商兼容)组合泄漏测试软件用自动化模块,这样对仪器的老练用途是可能的,无需过分复杂化系统。 

 

为我们的产品(In Situ Host)保留泄漏测试软件,对质谱仪的用途为维护活动没有减弱。  经常,供选择的自动化在一个重大障碍包装结果为定期用户。

 

 

 

 

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应该从质谱仪硬件供商分离自化?

 

做出所有,回是有用的什么为其他作。  质谱仪化最佳的事例可以被发现IBM有依靠供商,但得非常自足。  有由对质谱仪商的信赖试图了自化的很多家公司。  有少量成功案例。  质谱仪硬件公司史上做了一好工作硬件元件,但合化一劣的工作。 

 

 

(In Situ Host)提供工具必要自质谱仪,无需复杂化系

 

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是消化据入优值必要的?

 

如果想要自化任何系,宗旨将数出缺点以方法一致程序控制那致他诊断和排除。  原始质谱仪为这个作用一般是不合适的。  而不是时间字小河,某一反的一唯一字代表在某一时间被跟踪。

 

 

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(In Situ Host)接能抽,薄酥和食谱证明到质谱仪数据?

 

(In Situ Host)工具联络过处理工具的通信端口,全部、食识别据文件有自地包括。  然而,及早在品的展被领会需要这个作用。  品包括域在两数据文件和在略文件为这信息(每奔3正文串) 包括。  演示程序,完全以原始代是包括的在

 

 

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主人在原处怎么集成工化系

 

设计(In Situ Host)它将是在一大型系包括的模   选择质谱仪化系质谱仪统将据分析的最后的家。  使在他的工化系包括的据分析的工具复杂  (In Situ Host) 据,包括据,容易地容易接近这样它在宏分析可以被用。

 

 

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用具体

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

我可以使用我的开放来源质谱仪在我的调动房间?

 

它将取决于调动房间的工作压力。  开放来源质谱仪仪器要求最大工作压力大约


预防损坏的1 E-4乇或较少对于硬件。  如果您的系统有少有的游览少量地在这个水平之上,则您的系统也许仍然是候选人。  为了在很好作用的这种应用,在算法必须包括每一个阀门状态,以便系统可能分配数据到伴生的房间。

 

           

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是同步去除毒间质谱仪程重要的?

 

有去除毒程的一强的时间附庸。  高度挥发性溶主要入去除毒程的早期。  另外,在最共同去除毒器,有需要容间门和冷却室造成的多游  客通后集中发现最佳的果在期在去除毒程中。 

 

 

            上面            家庭            去除毒应显示器

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

虑质谱仪,什析因应该

 

第一因素是几乎是工作力。  可能力,但只增加重大复杂用。  第二重要因素是化  一些理化可能器的重大退化。

 

 

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Text Box: 辩解为自动化产品为联合程序控制的应用

In Situ Host 应用注解: 实时计量学以残余的气体分析

分析工具的原则

监测一个金属证言工具以残余的气体分析

对残余的气体分析的用途在 半导体热量处理模块

监测一个半导体蚀刻设备工具与残余的气体 分析

频繁地被问的问题
 

 

 

 

 

 

 

 

 


                                                           

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

[1] TWARE32RGA窗口分别为InficonMKS器注

 

[2]  Fabguard是一标为Inficon