Häufig gestellte Fragen

 

 

 

 

 

q Allgemeine Fragen

 

 

 

 

Was hindert die meisten Benutzer am Automatisieren ihres Massen spektrometers?

 

Warum sollte ich die Automatisierung vom Massenspektrometer-Hardwareverkäufer trennen?

 

 

Warum ist es notwendig, die Daten in „Abbildungen des Verdienstes“ zu verdauen?

 

 

Kann ich Los-, Produkt- und Rezeptkennzeichnung mit den Massenspektrometerdaten verbinden?

 

 

Wie integriert unser Produkt (In Situ Host) in das Produktionsautomatisierung System?

 

 

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q Anwendungsspezifische Fragen

 

 

 

Kann ich mein geöffnetes Quellmassenspektrometer auf meinem übergangs raum benutzen?

 

 

Warum ist es wichtig, mein zu synchronisieren entgast Raummassenspektrometer zum Prozeß?

 

 

Welche Faktoren sollten betrachtet werden, wenn man Massenspektrometerautomatisierung betrachtet?

 

 

 

 

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Allgemeine Fragen

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Was hindert die meisten Benutzer am Automatisieren ihres Massenspektrometers?  Es gibt 2 Annäherungen, die von den Websiteströmungsmassenspektrometer-Kleinteillieferanten angeboten werden:

 

1.  Leckstelle prüfensoftware:  Diese Antwort wird angestrebt das „Standard“ waagerecht ausgerichtete von Software, z.B. „TWARE32“ oder „RGA for Windows“ [1], nicht mögen die Automatisierung Software fabguard.  Mit diesem Niveau von Software kann die Massenspektrometerakte mit dem Anfang des Prozesses synchronisiert werden, und das Timing kann bis zum einer örtlich festgelegten Zeit versetzt werden.

 

  1. Die Technik, die Schnittstelle, das Kabeln und die Bestandteile notwendig, die Signalsynchronisierungen ist zu erwerben des Kunden Verantwortlichkeit.

 

  1. Das Verteilen der Daten ist nicht möglich.  Für Beispiel, wenn man die Daten unter bestimmten Umständen überwachen wollte, wie, als ein Ventil geöffnet war oder als die entgasenlampe Intensität innerhalb a war Strecke, diese würde nicht möglich sein.

 

  1. Wenn die Massenspektrometerakte zum Anfang synchronisiert wird vom Prozeß beginnt sie eine neue Datei jedesmal der Prozeß Anfänge.  Dieses ergibt Tausenden Akten pro Woche, ohne praktisches Methode für den Bericht vorhanden.  (Dieses war die Situation, die aufforderte Data Miner Programm.  Dieses Programm öffnet jeden der Durchläufe und extrahiert zusammenfassende Daten, aber dieses ist lästig und ist nicht eine ideale Lösung).  In Situ Host preempts diese Notwendigkeit vorbei zusammenfassende Informationen an der Zusammenfassung von jedem sammeln laufen gelassen.

 

2.  Automatisierung Software:  Dieser Antwort wird die hoch entwickeltere Automatisierung Software, z.B. Fabguard angestrebt [2]

 

  1. Die Fähigkeit dieser Systeme kann eindrucksvoll sein.  Jedoch ist der Preis häufig, im Kaufpreis sehr hoch und fortfahrende Wartung.

 

  1. Die Massenspektrometerlösung ausführen, ein Websitefaktor fast immer ist die Oblate selbst.  Komplette Informationen über Oblategeschichte ist notwendig, um ein Massenspektrometer zu errichten Modell.  Seit Software ergibt die Kompliziertheit fast immer ein schweres Abhängigkeit auf dem Verkäufer, ergibt sie einen Kompromiß zwischen Schutz des geistigen Eigentums und Prozeßsteuerung Leistung.  Das Ende Resultat ist ein System mit wundervollem Potential, das selten verwirklicht wird.

 

Unser Produkt (In Situ Host) ist eine Alternative.  Es verwendet die Standardmassenspektrometerkleinteile (kompatibel mit den meisten Massenspektrometerherstellern) und die Mähdrescher die Leckstelle prüfen software mit einem Automatisierung Modul, so, daß hoch entwickelter Gebrauch des Instrumentes möglich ist, ohne zu erschweren zu viel das System. 

 

Seit unserem Produkt (In Situ Host) behält die Leckstelle prüfensoftware, der Gebrauch des Massenspektrometers für Wartung Tätigkeiten wird verglichen nicht.  Sehr häufig, verpackt die alternative Automatisierung Resultat in einem bedeutenden Hindernis für den Routinebenutzer.

 

 

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Warum sollte ich die Automatisierung vom Massenspektrometer-Hardwareverkäufer trennen?

 

Wenn man jede mögliche Entscheidung trifft, ist es nützlich, zu wiederholen, was für andere Kunden gearbeitet hat.  Die besten Fälle von der Massenspektrometerautomatisierung können bei IBM gefunden werden, in dem der Kunde nicht auf den Verkäufer baute, aber wurden sehr viel autark.  Es gibt eine Anzahl von Firmen, die Automatisierung durch Vertrauen auf dem Massenspektrometerverkäufer versucht haben.  Es gibt wenige Erfolg geschichten.  Die Massenspektrometer-Kleinteilfirmen historisch haben einen guten Job mit der Hardwareeinheit, aber eine schlechte Arbeit der Integration erledigt. 

 

Unser Produkt (In Situ Host) stellt die Werkzeuge zur verfügung, die notwendig sind, das

Massenspektrometer zu automatisieren, ohne zu erschweren zu viel das System.

 

 

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Warum ist es notwendig, die Daten in „Abbildungen des Verdienstes“ zu verdauen?

 

Wenn man irgendein System automatisieren möchte, ist die Zielsetzung, Störungen mit einer Methode numerisch zu ermitteln, die mit Prozeßsteuerung gleichbleibend ist, die die zu ihre Diagnose und Beseitigung führt.  Die rohen Daten vom Massenspektrometer sind im Allgemeinen für diese Funktion unpassend.  Anstelle von einem Strom der Zahlüber zeit für ein Signal, wird ein Einfachzahlrepräsentant einer bestimmten Antwort während eines bestimmten Abstands aufgespürt.

 

 

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Dose unser Produkt (In Situ Host) Verbindung Los-, Oblate- und Rezeptidentität zu den Massenspektrometerdaten?

 

Seit unserem Produkt (In Situ Host) verständigt nicht mit dem Werkzeug über den Prozeßdfv-anschluß des werkzeugs, Los, Rezept, und Produktkennzeichnung sind nicht automatisch in der Datei eingeschlossen.  Jedoch wurde es früh in der Entwicklung des Produktes begriffen, daß viele Kunden diese Funktion benötigen würden.  Das Produkt schließt auffängt in beider Datei und in der zusammenfassenden Akte für die Einbeziehung dieser Informationen ein (3 Textfolgen pro Durchlauf).  Ein Demonstration Programm, das mit Quellenprogramm komplett ist, ist auf der Installation Scheibe enthalten.

 

 

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Wie In Situ Host integrieren Sie in das Produktionsautomatisierung System?

 

Das Design unseres Produktes (In Situ Host) nimmt an, daß es ein Modul ist, das in einem Großsystem eingeschlossen ist.   Alternative Massenspektrometer-Automatisierung Systeme nehmen an, daß das Massenspektrometersystem das abschließende Haus der Datenanalyse ist.  Die meisten Fabriken haben Werkzeuge für die Datenanalyse verfeinert, die in ihrem Produktionsautomatisierung System eingeschlossen ist.  Unser Produkt (In Situ Host) bildet die Daten, einschließlich die zusammenfassenden Daten, leicht zugänglich so, daß es in der makroskopischen Fabrikanalyse verwendet werden kann.

 

 

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Anwendung Besondere

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Kann ich mein geöffnetes Quellmassenspektrometer auf meinem übergangsraum benutzen?

 

Es hängt vom funktionierenden Druck des übergangs raumes ab.  Die meisten geöffnete Quellmassenspektrometerinstrumente erfordern einen maximalen funktionierenden Druck von ungefähr 1 Torr E-4 oder kleiner, zum von Beschädigung der Kleinteile zu verhindern.  Wenn Ihr System seltene Exkursionen am Rand über diesem Niveau hat, dann kann Ihr System ein Anwärter noch sein.  Damit diese Anwendung auf Funktion gut, der Zustand von jedem der Ventile im Algorithmus eingeschlossen werden muß, damit das System die Daten dem verbundenen Raum zuweisen kann.

 

           

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Warum ist es wichtig, das entgasenraummassenspektrometer zum Prozeß zu synchronisieren?

 

Es gibt eine starke Zeitabhängigkeit von entgasen Sie Prozeß.  In hohem Grade löschbare Lösungsmittel entwickeln websitesächlich in den frühen Stadien des entgasenprozesses.  Zusätzlich auf dem allgemeinsten entgasen Sie Reaktor, gibt es die mehrfachen Exkursionen, die durch die Last Raumtür und die Kühlraumtür, die, verursacht werden untergebracht werden müssen.  Die meisten Kunden finden beste Resultate, indem sie sich spät auf den Zeitabschnitt im entgasenprozeß konzentrieren. 

 

 

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Welche Faktoren sollten betrachtet werden, wenn man Massenspektrometerautomatisierung betrachtet?

 

Der erste Faktor ist fast immer funktionierender Druck.  Ein kann den Beispieldruck verringern, aber nur addiert bedeutende Kompliziertheit und Kosten.  Der zweite wichtige Faktor ist Chemie.  Etwas Prozeßchemie kann bedeutende Verminderung des Instrumentes ergeben.

 

 

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Text Box: Die Rechtfertigung für ein Automatisierung Produkt für integrierte Prozeßsteuerungsanwendungen

In Situ Host Anwendung Anmerkung: Echtzeit Metrology mit Restlicher Gasanalyse

Echtzeitverfahrensteuerung mit Restlicher Gasanalyse

Überwachung eines Metall absetzung-Werkzeugs mit Restgas-Analyse

Der Gebrauch von Restgas- Analyse in 
Halbleiter-thermisches verarbeitenmodul

Überwachung eines Halbleiter-Radierung
 Vorrichtung Werkzeugs mit Restgas Analyse

Häufig gestellte Fragen

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


[1] TWARE32 und RGA für Windows sind geschützte Warenzeichen von Inficon und VON MKS Instrumenten, beziehungsweise.

 

[2]  Fabguard ist ein geschütztes Warenzeichen für Inficon.