Introduction

࠳= 8;析道具の原理=

導入〔紹介〕

データの獲&= #24471;は問題ではありま= 379;ん。= プ= ロセス監視に役立つ= 2383;めに、跡データはഀ= 8;味〔利子〕で簡潔に工程(あるいは間&= #38548;〔音程〕= )の上で道具パラӣ= 3;ーター行動を述べる&= #24615;能指数に減らされ= 394;ければなりません= 。= 工程の間の&= #21508;々の信号の行動を"= 920;すように意図された= ;統計上の主要な数(最大限、平&= #22343;、及び標準偏差)がこの目的のたә= 7;に使われます。= 自動化された金़= 6;免職部屋が事例研究&= #12392;して使われます。=

オートメーションの= 前の道具

最初の障害&= #12399;通常同時性の不足= 391;す。= こ= のタイプの道具の優= 1218;は現在自動化されә= 4;せん。= ユーザーは&= #12487;ータ収集に着手し= 390;、ある量〔金額〕の= ;回〔倍〕が経過する&#= 12414;で、あるいはデー|= 79;ファイルがある1サ= イズに達するまでデ= 2540;タは安定したサンӢ= 3;ル率〔料金〕で絶え&= #12378;集められます。自= 動化された分析は、= 1516;じに全ての与えらӚ= 8;た意味〔ポイント/<= span style=3D'font-family:"MS Mincho";mso-bidi-font-family:"MS Mincho"'>点= 〕のデータを扱いま= 2377;。=

標準のソフ&= #12488;ウェアと、警報入= 426;口はウエハース移転= ;のような正常な旅行&#= 12434;考慮するようにさ{= 79;られなければなりま= せん。= そ= のような方法で、大= 2365;な問題は逃されるӕ= 1;とができます。=

解決=

1ステップ目は、ࡕ= 6;一のウエハースに分&= #26512;を孤立させて、ウ= 456;ハース移転によって= ;引き起こされたもの&#= 12398;ような旅行からデ}= 40;タ収集を孤立させる= ことです。

今、データ&= #12399;よりずっと安定し= 390;いて、妥当な分析と= ;限界は用いられるこ&#= 12392;ができます。=

2番目の障害は見๩= 0;しです。シ= ステムは、今加工さ= 2428;た全てのウエハーӟ= 3;のための単一のファ&= #12452;ルを産みます。= デ= ータを検討すること= 2399;すごく退屈になるӕ= 1;とができます。=

解決は要約&= #12487;ータを集めること= 395;なっています。= こ= の製品は平均、最大= 8480;、及び各種のためӗ= 8;標準偏差及び各ウエ&= #12495;ースのための合図= 308;信号〕(例えば種のためӗ= 8;時間)をまとめて、デӦ= 0;タを要約スプレッド&= #12471;ートに入力します。=

要約=

この製品は&= #20197;下による汚染検出= 120;のオートメーション= ;を容易にします：=

プ= ロセスのそれに道具= 2398;操作〔業務/作= 用〕を同時に進行さ= 2379;ます

見= 通しが高められるよ= 2358;に要約データを集ә= 7;ます。=

信= 号の創作がよりさら= 2395;情報を定義するこӗ= 2;を許します。=

ウ= ェブサイト

༙= 1;子メール